基本信息
标准名称: | 电子工业用气体 氧化亚氮 |
英文名称: | Gases for electronic industry. Nitrous oxide |
中标分类: | 化工 >> 其他化工产品 >> 工业气体与化学气体 |
ICS分类: | 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体 |
替代情况: | 被GB/T 14600-2009代替 |
发布部门: | 国家技术监督局 |
发布日期: | 1993-08-26 |
实施日期: | 1994-07-01 |
首发日期: | 1993-08-26 |
作废日期: | 2010-05-01 |
主管部门: | 国家标准化管理委员会 |
提出单位: | 中华人民共和国化学工业部 |
归口单位: | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
起草单位: | 化工部西南化工研究院 |
起草人: | 段淑芳 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 1994-07-01 |
页数: | 6页 |
适用范围
本标准规定了电子工业用气体——瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存要求。
本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。
前言
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目录
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所属分类: 化工 其他化工产品 工业气体与化学气体 化工技术 化工产品 工业气体